产品简介10A-4 触屏四工位匀胶机是一款高效、多功能的实验设备，具备四个独立工位，支持直径5-100mm硅片的匀胶操作，满足多种涂覆需求。其工位转速范围广达1
10A-4 触屏四工位匀胶机是一款高效、多功能的实验设备，具备四个独立工位，支持直径5-100mm硅片的匀胶操作，满足多种涂覆需求。其工位转速范围广达100-7000RPM，启动加速度可调至3000转/秒，并可精准控制时间和速度，确保涂层的均匀性与质量。设备采用触屏操作界面，配备12组可预存工艺参数，实现全自动化控制。每个工位独立运行，真空与旋涂互锁，提升操作安全性，且内置HEPA高效过滤技术提供优越的空气净化效果，使其成为半导体、光学涂层等领域的可靠选择。
型号 | 10A-4 |
名称 | 触屏四工位匀胶机 |
装片直径 | 5/10/20/30....100mm可选（标配2个） |
程序组 | 1-5段（编辑页面），12组； |
匀胶时间 | 3000S,分辨率0.1S，精度±0.1% |
速度范围 | 100-7000RPM，精度±1% |
速度修正 | 通过A/K选择Kx试运行可自动修正转速，再回到Kx使用 |
加速度 | 空载有效值100-4000RPM/S范围，分辨率1RPM/S； |
工作电源 | AC200-230V，单相，200W |
外形尺寸 | 990*740*1620 (宽*深*高) |
净化功能参数 | 1000立方米每小时 |
空气净化技术 | HEPA高效过滤技术 |
净化率 | 99.99 |
初效过滤器规格及数量 | 490*490*20 |
无隔板高效过滤器规格及数量 | 820*600*50 |
1、使用工位4个，满足直径40mm（片托可选5-100mm）的硅片匀胶，硅片由工位上吸盘固定。
2、工位转速控制范围100-7000转/分，精度±1%。
启动方式软启动，软启动级别无级可调（加速度设定范围100-3000转/秒），从0-7000转加速时间3-80秒。
3、每一段的时间控制范围0-3000秒。精度±0.1%。
4、可预存12组工艺参数，每组5段
5、自动控制匀胶过程。手动放硅片，按一下开始键完成一次匀胶过程。
6、工作台带排风功能。
7、每一个工位，均可独立运行，真空与旋涂互锁，
8、每一个工位均是4.3寸电阻触屏显示和控制，带有保护膜。
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